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jackyang1995

新虫 (正式写手)

[交流] ICP已有2人参与

磁控溅射机中大铜管做的,用石英玻璃隔开的ICP部分是干嘛的

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jackyang1995

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 众诚达靶材 at 2018-03-14 11:52:09
那是加热系统

确定吗,可以通氧气

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3楼2018-03-14 12:48:35
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查看全部 4 个回答

maojui

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
ICP是由高频电流经感应线圈产生高频电磁场,工作气体为Ar,里面不会通氧气。
难易
4楼2018-05-10 17:11:20
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