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kingcx

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[交流] 硅烷气相沉积

我想用硅烷在管式炉500度左右做气相沉积，但查了很多资料发现硅烷常温下比较危险，请教哪位用过硅烷做实验，应该注意些什么，再就是小批量的硅烷可以在哪买到，谢谢啦！

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淡然人生

1楼 2009-03-12 19:12:20

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