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kingcx

银虫 (小有名气)

[交流] 硅烷气相沉积

我想用硅烷在管式炉500度左右做气相沉积,但查了很多资料发现硅烷常温下比较危险,请教哪位用过硅烷做实验,应该注意些什么,再就是小批量的硅烷可以在哪买到,谢谢啦!
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淡然人生
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