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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 电子束蒸发大气氛围放很久了，真空度抽不下去正常么
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zhao139391

银虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发大气氛围放很久了，真空度抽不下去正常么

最近才开始做电子束蒸发，我那个仪器，大气氛围下放了一年左右了，最近装好了，抽真空，5个小时刚刚抽进-4Pa，正常么？还是气密性不好啊，要怎么办呢？跪谢各位大神答疑解惑。。。@yswyx
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graphene2016-2018

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坚持了才会有希望
1楼 2018-03-09 14:57:15
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
什么泵

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2楼2018-03-09 14:59:02
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gelivable

新虫 (小有名气)
应该是有水汽吧 一般泵抽水汽都很难

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3楼2018-03-11 12:26:31
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zhao139391

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lqm070 at 2018-03-09 14:59:02
什么泵

机械泵加分子泵抽的

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坚持了才会有希望
4楼2018-03-14 11:08:42
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zhao139391

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by gelivable at 2018-03-11 12:26:31
应该是有水汽吧 一般泵抽水汽都很难

那保持一段时间真空是不是会好一点

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坚持了才会有希望
5楼2018-03-14 11:09:05
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
哪的分子泵，国产的年久后差不多就这了

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6楼2018-03-14 12:33:18
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