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BIT嗷大喵铁虫 (小有名气)
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磁控溅射检漏问题判定
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最近实验室更换了氧气的气体流量计，更换了以后，为了检查是否漏气，我将腔体真空抽到10-2Pa，然后我打开混气室的阀门，再分别打开氩气和氧气的阀门，发现打开氧气阀门以后，真空度会有缓慢上升，这是否能够判定气体流量计接口漏气。后来我重新装了很多次，依旧有这个问题。但是后来我做实验发现，真空度依旧可以抽下去，同时后续实验依旧可以正常启辉，溅射时气压也能稳定保持在1Pa。这个是否说明我的流量计没有漏气。我用的靶材是钨靶材，氧气比氩气的流量比为0.9:49，辉光颜色有点偏粉红但也有点偏紫色 |
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m452193160
新虫 (小有名气)
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3楼2018-03-02 12:38:53