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微纳加工中用来检查板子缺陷用的大市场显微镜
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常规显微镜检查起来非常的缓慢,请问下有没有那种用来检查板子的显微镜,放大倍数100倍左右即可,即能够看到5u的小颗粒缺陷点,当然配套会有更高的倍数来进一步表征的最好。 要求尺寸幅面20寸以内即可,其实就是平台移动幅面大一些 |
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