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[交流]
射频反应溅射氧化镍
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| 各位虫友，靶材是镍，射频溅射电源。我在反应溅射氧化镍时，功率设在80W，刚打开时辉光有点发白，感觉光亮度较大，20分钟后光强明显减弱，发紫。求教各位大神，可能是什么问题？ |
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 薄膜制备与特性 |
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7楼2018-02-09 17:13:50
9楼2018-02-10 19:39:04
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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楼主描述的现象很准确，1.刚开始辉光大白是靶材表面有氧化物。2.之后变紫，是因为氩气的辉光颜色是紫色。对应措施，1.正式溅射前，要进行预溅射，时间大约5分钟。2.楼主可以测一下此次样品的成分，看一下膜层是氧化镍还是镍，根据结果调整氧气流量。 发自小木虫Android客户端 |
10楼2018-02-11 07:21:31
11楼2020-06-05 15:02:24