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cmshi木虫 (著名写手)
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[求助]
电弧离子镀和磁控溅射的粒子能量
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周知，电弧离子镀和磁控溅射在镀膜前一般都会用较高的负偏压轰击样品表面，我想知道两种方法各自的离子能量是多少eV，转换成离子温度是多少℃？大致的数量级即可，多谢多谢 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2018-01-31 21:15:56