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蚀刻工艺调整
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各位大神好: 请教一个问题! 出于对环保的考虑想对目前的蚀刻工艺进行优化,具体蚀刻条件如下: 区分 工艺事项 蚀刻材质 纯铝(真空镀膜产生,厚度1μm) 蚀刻液 硝酸、磷酸、醋酸 线路幅度 最小线幅30μm,最小线距20μm 要求: 调整蚀刻液配方,去除磷酸使用 请各位大神赐教!谢谢! |
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