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蚀刻工艺调整
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各位大神好： 请教一个问题！ 出于对环保的考虑想对目前的蚀刻工艺进行优化，具体蚀刻条件如下： 区分 工艺事项 蚀刻材质 纯铝（真空镀膜产生，厚度1μm） 蚀刻液 硝酸、磷酸、醋酸 线路幅度 最小线幅30μm，最小线距20μm 要求： 调整蚀刻液配方，去除磷酸使用 请各位大神赐教！谢谢！ |
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