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xhw00325

新虫 (初入文坛)

[求助] 蚀刻工艺调整

各位大神好:
       请教一个问题!
       出于对环保的考虑想对目前的蚀刻工艺进行优化,具体蚀刻条件如下:
      区分        工艺事项
蚀刻材质        纯铝(真空镀膜产生,厚度1μm)
蚀刻液        硝酸、磷酸、醋酸
线路幅度        最小线幅30μm,最小线距20μm

要求:
     调整蚀刻液配方,去除磷酸使用
请各位大神赐教!谢谢!
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