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xhw00325

新虫 (初入文坛)

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虫号: 7815608
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性别: GG
专业: 应用有机化学

[求助] 蚀刻工艺调整

各位大神好：
   请教一个问题！
   出于对环保的考虑想对目前的蚀刻工艺进行优化，具体蚀刻条件如下：
   区分工艺事项
蚀刻材质纯铝（真空镀膜产生，厚度1μm）
蚀刻液硝酸、磷酸、醋酸
线路幅度最小线幅30μm，最小线距20μm

要求：
   调整蚀刻液配方，去除磷酸使用
请各位大神赐教！谢谢！

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渴望知识

1楼 2018-01-26 16:01:24

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