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yangyu1995

银虫 (初入文坛)

[交流] 去除基体得到薄膜的方法 已有3人参与

现在用磁控溅射的方法制备了氧化铝,想做TEM,但是用减薄的方法容易造成形成新的非晶,想着把基体溶解掉,基体是Si,想问问有没有什么方法可以溶解硅的同时尽量保留薄膜
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4楼2018-08-17 10:50:39
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DDJOKER

新虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
磨吧,化学方法可能很难实现

发自小木虫Android客户端
2楼2018-03-07 14:47:10
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a809466786

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问下楼主RF氧化铝的参数设置及经验 感谢感谢
3楼2018-03-29 10:56:42
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yangyu1995

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by a809466786 at 2018-03-29 10:56:42
请问下楼主RF氧化铝的参数设置及经验 感谢感谢

这个每个设备不一样,不过氧气不要太多
5楼2019-02-17 18:20:37
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