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质量块位移的精确检测 已有1人参与
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求大佬帮忙看一下。基于光学检测法，设计一种质量块位移测量方案。要求引入MEMS结构，构成一种MEMS传感器，并分析传感器的灵敏度。 发自小木虫IOS客户端 |
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damuchongzi
铁杆木虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2018-01-24 11:17:38