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歪歪哥好帅

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 溅射功率 已有1人参与

各位大神,磁控溅射的参数 溅射功率是用靶上溅射电压 乘上 溅射电流 吗?溅射功率对溅射沉积会有什么影响?
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
歪歪哥好帅: 金币+50, ★★★★★最佳答案 2018-03-16 17:03:03
直流电源溅射的话,功率确实等于电压和电流之积,电压反应的是阴阳极的电势,电流反应的是等离子体的密度。
一般提高功率,最直接反应的是电流提高,也就是轰击离子增多吗,等离子体增强,辉光变亮。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2018-01-10 18:51:03
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