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[交流]
强磁靶枪用直流无法启辉。
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腔室里有两个靶枪， 一个标准磁场，Ti靶，RF电源，工作完全正常 一个强磁场，Fe靶，DC电源。 问题是，强磁靶电源一打开就是800~1000V的高电压，然后通10mTor氩气，加50w 没法启辉。偶尔出现用1号靶枪启辉，引导2号靶枪，会启辉成功， 但是概 率很低。 然后把电源交换，RF给强磁靶枪，DC给标准靶枪，两个工作都完全正常。 就是说强磁靶枪和DC似乎无法匹配。 谁有相关经验。 |
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