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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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不认输

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问pvd涂层为什么会产生压应力? 已有1人参与

看资料都说cvd涂层产生拉应力,而pvd涂层产生压应力。为什么会产生这种现象?cvd拉应力的解释是不同材料膨胀系数不同,降温过程造成的;pvd一直没找到解释,pvd为什么会产生压应力?
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不认输

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 茉莉花的芳香 at 2018-01-08 09:27:57
找几篇英文文献看看就可以了,关于PVD涂层中残余应力的来源有很详细的解释。我理解的主要有两点:1、由于原子的固溶作用,导致晶格的膨胀,从而导致了压应力的产生;2、在沉积过程中,由于高能粒子对基体表面有强烈 ...

谢谢,看了挺多中文文献都没有解释原因,只看到一个文章说是离子轰击作用导致的。英文文献看着有点费劲,而且毕业几年了不太好找了
3楼2018-01-18 16:14:55
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茉莉花的芳香

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
不认输: 金币+100, ★★★★★最佳答案 2018-01-18 16:13:11
找几篇英文文献看看就可以了,关于PVD涂层中残余应力的来源有很详细的解释。我理解的主要有两点:1、由于原子的固溶作用,导致晶格的膨胀,从而导致了压应力的产生;2、在沉积过程中,由于高能粒子对基体表面有强烈的轰击作用,从而导致了涂层内部残余亚应力的产生。
放诞不羁
2楼2018-01-08 09:27:57
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