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不认输

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问pvd涂层为什么会产生压应力？ 已有1人参与

看资料都说cvd涂层产生拉应力，而pvd涂层产生压应力。为什么会产生这种现象？cvd拉应力的解释是不同材料膨胀系数不同，降温过程造成的；pvd一直没找到解释，pvd为什么会产生压应力？
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1楼 2018-01-05 12:02:17
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不认输

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 茉莉花的芳香 at 2018-01-08 09:27:57
找几篇英文文献看看就可以了，关于PVD涂层中残余应力的来源有很详细的解释。我理解的主要有两点：1、由于原子的固溶作用，导致晶格的膨胀，从而导致了压应力的产生；2、在沉积过程中，由于高能粒子对基体表面有强烈 ...

谢谢，看了挺多中文文献都没有解释原因，只看到一个文章说是离子轰击作用导致的。英文文献看着有点费劲，而且毕业几年了不太好找了
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3楼2018-01-18 16:14:55
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茉莉花的芳香

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
不认输: 金币+100, ★★★★★最佳答案 2018-01-18 16:13:11
找几篇英文文献看看就可以了，关于PVD涂层中残余应力的来源有很详细的解释。我理解的主要有两点：1、由于原子的固溶作用，导致晶格的膨胀，从而导致了压应力的产生；2、在沉积过程中，由于高能粒子对基体表面有强烈的轰击作用，从而导致了涂层内部残余亚应力的产生。
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放诞不羁
2楼2018-01-08 09:27:57
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