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SIStdi0

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关于镀膜设备
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pld的腔体的石英玻璃上有薄膜的污染，这个怎么才能清洗掉？目前用过的靶材是co合金，基本为过度族元素化合物。想请教下，用什么试剂，什么方法可以很好的清洁掉这个污渍

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1楼 2018-01-05 01:36:37
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
★
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能拆下玻璃？可以砂纸打磨，最后用研磨膏处理，再有机溶剂超声清洗

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SIStdi0
7楼2018-01-05 02:06:15
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wiseroy

木虫 (著名写手)
★
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试一试酸，然后细研磨膏。

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52楼2018-01-05 08:00:04
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091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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86楼2018-01-05 10:25:02
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cowboysling

木虫 (正式写手)
★
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一是更换。二是拆下后打磨，用超声清洗等方法

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94楼2018-01-05 11:30:35
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a明月光2楼
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