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请问有人用XRD的掠入射模式,测试过薄膜的应力么?
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s3311036
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注册: 2014-10-29
性别: GG
专业: 微生物学
[
求助
]
请问有人用XRD的掠入射模式,测试过薄膜的应力么?
已有1人参与
请问有人用XRD的掠入射模式,测试过薄膜的应力么?
只会用XRD的正常模式测峰,没接触过测应力,求各路大神指教。
@
xiejf
@
nowitzki_ci
@
神魔流转
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yswyx
@
dut_ameng
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wulishi8
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2018-01-02 09:43:18
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s3311036
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2楼
2018-01-02 11:18:10
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fanmengya
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注册: 2018-01-09
专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
s3311036
at 2018-01-02 11:18:10
顶一下
你好,我也是想做掠入射xrd,但是对这个还不是很懂,所以想咨询一下,如果我用普通xrd测试出来的峰比较弱,而且有时候出不来峰,或者每次测试结果不太相同,用掠入射xrd会好一些吗?
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3楼
2018-01-09 10:45:32
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juloong
木虫
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注册: 2006-09-02
专业: 半导体材料
掠入射是可以测薄膜的应力的,是从正常的测应力的方法演变而来的
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4楼
2018-01-09 11:34:04
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