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howareyou3765

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】请问谁用CF4做过离子刻蚀

虫虫们,有谁用CF4加氧气或氩气做过离子刻蚀,具体怎么弄的呀?在线急等,先谢谢了!

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2009-3-2 at 22:51 ]
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路由心生
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manmansboy

专家顾问 (正式写手)

黄金矿工


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你说的是太阳能电池片的等离子刻蚀?
你可以问问48所。
浆料圈 silverpaste@qq.com
3楼2009-09-22 10:10:13
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bluesky238

木虫 (正式写手)

就把气体通进反应离子束刻蚀腔体呗,不知道你要问什么。
2楼2009-03-03 12:53:43
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