应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射 钨 起辉 溅射过程有辉光，但是衬底上没有薄膜
131/2返回列表12下一页
查看: 1959  |  回复: 12
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者xinyiwind将赠送您 5 个金币

xinyiwind

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 钨 起辉 溅射过程有辉光，但是衬底上没有薄膜已有2人参与

利用磁控溅射在Cu衬底上溅射钨，溅射气压0.5Pa，电流2A，电压338V,钨靶起辉，溅射两个小时，铜衬底加偏压20V，但是溅射结束后表面仍是衬底的颜色。有没有大神知道问题在哪？
回复此楼

» 收录本帖的淘贴专辑推荐

薄膜制备与特性 磁控溅射镀膜工艺 PVD工艺探究

» 猜你喜欢
1楼2017-12-29 10:53:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

daweidejob

新虫 (初入文坛)
电源是直流还是中频？用的什么溅射气体？

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2017-12-31 18:30:40
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

清风展望

木虫 (职业作家)
多厚？去测一下成分，说不定就是那个颜色呢

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2017-12-29 11:13:32
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

气源是什么？纯度？
提高下气压到1pa试试，怀疑生成氧化物
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2018-01-02 10:07:14
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
1.靶材尺寸多大？2.拍个照片看看。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2018-01-02 18:34:45
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xinyiwind

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 清风展望 at 2017-12-29 11:13:32
多厚？去测一下成分，说不定就是那个颜色呢

还是铜片金灿灿的颜色，钨溅射出来应该不是这样的吧
赞一下 回复此楼
6楼2018-01-02 22:15:49
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xinyiwind

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by daweidejob at 2017-12-31 18:30:40
电源是直流还是中频？用的什么溅射气体？

直流，用的氩气
回复此楼
7楼2018-01-02 22:21:37
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xinyiwind

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-01-02 10:07:14
气源是什么？纯度？
提高下气压到1pa试试，怀疑生成氧化物

氩气，5个九，在这个条件下溅射了铌和钼都没有问题
赞一下 回复此楼
8楼2018-01-02 22:23:41
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xinyiwind

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Friend007 at 2018-01-02 18:34:45
1.靶材尺寸多大？2.拍个照片看看。

尝试溅射了两次，溅射结束后就是这个样子的
磁控溅射 钨 起辉 溅射过程有辉光，但是衬底上没有薄膜
357300715947141407.jpg
赞一下 回复此楼
9楼2018-01-02 22:25:45
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
9楼: Originally posted by xinyiwind at 2018-01-02 22:25:45
尝试溅射了两次，溅射结束后就是这个样子的

357300715947141407.jpg
...

四个基片 ，靶材尺寸应该不小。怀疑功率不够，建议加大功率试试。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
10楼2018-01-03 07:26:21
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xinyiwind 的主题更新
131/2返回列表12下一页
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫 论文翻译-EnPapers美助理教授团队-SCI英文润色
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[文学芳草园] 对对子吧 +3 天若孤独 2024-05-22 4/200 2024-05-28 16:54 by 汪汪锅
[教师之家] 在大地上我们只过一生---看完我的阿勒泰上头了好几天，完结那天晚上几乎失眠 +4 瞬息宇宙 2024-05-27 4/200 2024-05-28 15:55 by chemhua
[基金申请] 河北省基金 50+3 晓晓爱翠翠 2024-05-23 24/1200 2024-05-28 14:49 by 晓晓爱翠翠
[找工作] 生物医药科研助理 +3 贴贴rr 2024-05-22 5/250 2024-05-28 14:08 by yyliao
[电化学] 如何证明电极上镀上金了？ 10+6 刻印时光 2024-05-22 11/550 2024-05-28 13:43 by 1061602127
[考博] 招聘催化、储能博士 +6 dfjsf 2024-05-24 10/500 2024-05-28 13:01 by 来自星星jx
[考博] 24年博士招生 +4 abinit432 2024-05-27 5/250 2024-05-28 10:47 by 牛奶小面包
[基金申请] E05现在涵评快结束了吧 +7 shrz98 2024-05-24 8/400 2024-05-28 10:35 by xuel2011
[有机交流] 奇怪的物质 100+4 桃桃PXS 2024-05-27 7/350 2024-05-28 10:22 by 091602
[电化学] 如题SEI问题 5+3 ERRORe 2024-05-24 4/200 2024-05-28 10:01 by 姜尚真。
[材料综合] 求助，刚入门MOF合成，实验总是失败 20+3 张月半 2024-05-25 8/400 2024-05-28 09:20 by 我想更懂你29
[基金申请] 工材01送了吗？ +6 xiaopang8958 2024-05-25 11/550 2024-05-28 06:03 by xiaopang8958
[硕博家园] 每天学术时间不能保证，能保证的只有： +5 hahamyid 2024-05-27 5/250 2024-05-27 18:18 by 沉默如昔
[基金申请] 科研之友阅读量近一周增加了200多。 +13 hdzw9071 2024-05-24 14/700 2024-05-27 17:29 by leeeru
[硕博家园] 求助 +3 单增李斯特21633 2024-05-25 3/150 2024-05-27 10:33 by hahamyid
[考博] 24年还有机会申博吗，求博导收留 +3 鄙人康康 2024-05-23 6/300 2024-05-27 00:29 by 鄙人康康
[论文投稿] 共同通讯谁投稿？ +3 qvhm2609 2024-05-23 10/500 2024-05-26 13:25 by bobvan
[论文投稿] 真是奇怪的编辑部？ +5 jjdg 2024-05-23 5/250 2024-05-25 21:57 by cqu_zzh
[有机交流] TsCl保护羟基为什么不反应 +9 853015158 2024-05-21 29/1450 2024-05-24 19:53 by 谢志新
[论文投稿] 期刊投稿进度 +6 jianhuang9 2024-05-21 8/400 2024-05-22 18:29 by sakuraai
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭