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关于磁控溅射设备真空度的问题 已有3人参与
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求助各位大神! 磁控溅射设备，直流电源设备：镀膜室+油扩散泵+油封旋片式机械泵 故障：真空抽的慢，且抽到一定真空度后，示数开始上涨（机械泵及扩散泵都在工作） 故障具体描述： 1.设备正常状态时，粗抽（仅用机械泵抽），示数大概会在十多分钟内降到3.0×10^0Pa左右，一般会低于此示数，大概在2.6×10^0Pa左右； 开精抽时（用扩散泵和机械泵一起抽真空），示数会在半小时内，一般都是十多分钟，抽到1.3×10^(-2)Pa左右，这时再开加热烘烤，一般会在一个小时多一些（大概一个小时零十多分钟）示数会降到3.5×10^(-3)Pa，烘烤温度对时间和示数，影响不大。 2.例如，粗抽（仅用机械泵抽真空室）时，当示数降到3.5×10^0Pa后，示数不在下降，维持几分钟后，示数不断上涨，涨到5.1×10^0Pa，我就没继续观察了，只是这个现象，示数也未必每次都是相同的，但现象都是差不多的，下降到一定程度，再上涨 3.例如，精抽（通过扩散泵和机械泵一起抽），抽到2点几×10^(-2)Pa就抽不动了，暂时没观察到示数上涨，对真空室进行加热烘烤，示数开始下降，会讲到-3量级，一般加热到300度，会降到6.2×10^(-3)Pa左右；如果加热到200度，会降到8点几×10^(-3)Pa左右；当示数再次趋于稳定，下降速度极慢时（没等到示数上涨，所以不清楚会不会上涨），关闭加热，温度开始下降，温度下降过程中，示数会继续下降，但是，当温度降到一定程度（大概140到170℃左右），示数不在下降，慢慢的示数开始上涨。 另外： 1.在真空度降到-3量级时用酒精检测过，无漏气现象； 2.若机械泵的抽力不足，是否能解释真空度能下降到一定程度但还会上涨这种现象？ 3.对所有管道及真空室进行过拆卸并擦拭，并无明显的污染源或者油污等.真空室及管道中是否存在放气源呢？ 请教：设备什么原因（故障）造成如今的问题？或者是哪方面的问题造成的？ |
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9楼2018-01-07 15:18:08
【答案】应助回帖
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20091783: 应助指数+1 2018-04-23 22:30:53
土豆没我土(20091783代发): 金币+3 2018-04-23 22:30:58
20091783: 应助指数+1 2018-04-23 22:30:53
土豆没我土(20091783代发): 金币+3 2018-04-23 22:30:58
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建议1.采用 压升法 检漏。2.如果条件允许，测一下泵的抽速和极限。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2017-12-28 19:08:32
3楼2017-12-28 20:56:22
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20091783: 2018-04-23 22:31:15
土豆没我土(20091783代发): 金币+2 2018-04-23 22:31:24
20091783: 2018-04-23 22:31:15
土豆没我土(20091783代发): 金币+2 2018-04-23 22:31:24
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现在的主要矛盾有两个 1.有漏气。2.泵感觉不行了。先解决主要矛盾。其他问题就好解决了。 发自小木虫Android客户端 |
4楼2017-12-29 10:59:14
