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小帅哥10000

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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散金: 9
帖子: 16
在线: 4.8小时
虫号: 6032696
注册: 2017-03-17
性别: GG
专业: 材料物理化学

[求助] 磁控溅射已有1人参与

磁控溅射成膜中，成膜再现性以及台阶覆盖率名词解释。

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1楼 2017-12-28 11:10:29

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

应助: 62 (初中生)
金币: 1285
红花: 16
帖子: 317
在线: 374.5小时
虫号: 1370716
注册: 2011-08-17
性别: GG
专业: 其他无机非金属材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
小帅哥10000: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-12-28 13:36:15

这两个概念都是材料镀膜领域的，来自英文reproducibility和step coverage，半导体行业更常用一些。
reproducibility就是镀膜工艺是否可重复，关注膜层厚度和性能；
step coverage 强调的是非平面的镀膜覆盖性，用膜厚标定，台阶处的厚度和平面厚度的比率。

以上。

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