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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 设备设计与开发 » 磁控溅射
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小帅哥10000

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 已有1人参与

磁控溅射成膜中，成膜再现性以及台阶覆盖率名词解释。
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1楼 2017-12-28 11:10:29
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
小帅哥10000: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-12-28 13:36:15
这两个概念都是材料镀膜领域的，来自英文reproducibility和step coverage，半导体行业更常用一些。
reproducibility就是镀膜工艺是否可重复，关注膜层厚度和性能；
step coverage 强调的是非平面的镀膜覆盖性，用膜厚标定，台阶处的厚度和平面厚度的比率。

以上。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2017-12-28 11:52:59
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