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小帅哥10000

新虫 (初入文坛)

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磁控溅射成膜中，成膜再现性以及台阶覆盖率名词解释。

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1楼 2017-12-28 11:10:29

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

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小帅哥10000: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-12-28 13:36:15

这两个概念都是材料镀膜领域的，来自英文reproducibility和step coverage，半导体行业更常用一些。
reproducibility就是镀膜工艺是否可重复，关注膜层厚度和性能；
step coverage 强调的是非平面的镀膜覆盖性，用膜厚标定，台阶处的厚度和平面厚度的比率。

以上。

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