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Adolf_zhe

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] PLD制备薄膜的问题

最近在用PLD长膜，用的STO衬底，但一直长不出来想要的晶面。看别人用STO衬底需要处理成TiO2表面，不知道这样做对制备的薄膜晶面有影响吗？
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1楼 2017-12-26 22:31:17
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光棍9527

新虫 (小有名气)
★
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有没有考虑用ALD制备薄膜？

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2楼2017-12-27 21:35:15
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Adolf_zhe

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 光棍9527 at 2017-12-27 21:35:15
有没有考虑用ALD制备薄膜？

没有，长的是三元组分的材料，还是PLD好些
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3楼2017-12-27 22:03:03
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光棍9527

新虫 (小有名气)
★
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哦哦，ALD也可以长三元组分的，仅供参考，希望有用哈

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4楼2017-12-27 22:29:05
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598878157

版主 (文学泰斗)

rky
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
看你需要长什么取向的薄膜，表面处理钛酸锶肯定对PLD生长外延膜有影响的，已经有很多文献报道了这个事情。
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5楼2017-12-28 09:45:14
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