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光刻胶烤胶一般用什么仪器设备比较好
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铁虫
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注册: 2013-04-17
性别: GG
专业: 信息处理方法与技术
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光刻胶烤胶一般用什么仪器设备比较好
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光刻胶烤胶一般用什么仪器设备比较好,温度控制,加热时间比较准确稳定,感觉用热板不太好用
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踏踏实实
1楼
2017-12-24 11:39:34
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exciting73
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性别: GG
专业: 半导体材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
热板应该算是比较通用的烤胶设备了。温控、时控精度与设备性能有关,有准确度高的热板可以选择。除此之外也就是烘箱比较常用了,不过烤胶时间较长。
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4楼
2018-01-05 21:44:36
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wildhorse79
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专业: 制造系统与自动化
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2楼
2017-12-24 12:21:08
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yanqingzhi
新虫
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专业: 非线性光学与量子光学
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我们目前使用时的热板,也买了鼓风干燥箱,据同事(工作经验10年)说,热板最好用。传热比较均匀,烘烤时间短,而干燥箱烘烤时间都是几十分钟。
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5楼
2018-02-22 17:08:38
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