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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SOI片表面那层硅是单晶硅吗？
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apeace48

金虫 (小有名气)

[求助] SOI片表面那层硅是单晶硅吗？已有1人参与

需要做一个单晶硅悬臂梁，如果用SOI片来做的话不知道表面那层是不是单晶硅?
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1楼2017-12-18 09:41:48
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卓晨

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
apeace48: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 谢谢！ 2017-12-18 15:22:58
是MOS器件上的吗？应该是多晶硅，可以在网上查一下这个器件的结构看是不是你想要的
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2楼2017-12-18 13:36:01
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卓晨

金虫 (小有名气)
刚才在网上查了一下是单晶硅，不好意思哈
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3楼2017-12-18 13:40:12
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卓晨

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 卓晨 at 2017-12-18 13:36:01
是MOS器件上的吗？应该是多晶硅，可以在网上查一下这个器件的结构看是不是你想要的

SOI片上的是单晶硅，MOSFET管栅极有些会使用多晶硅
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4楼2017-12-18 14:02:32
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卓晨

金虫 (小有名气)
supernatural: 屏蔽内容, 本层发帖人要求删除重复的回帖 2017-12-18 18:36:44
本帖内容被屏蔽
5楼2017-12-18 14:02:34
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