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想刻蚀锶钛氧SrTiO3样品,制备微纳器件,为什么氢氟酸刻出来的都是坑坑洼洼的,如果干刻用什么气体比较好呢?

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091820053

禁虫 (知名作家)

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5楼2018-01-18 10:06:16
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pandongzi2楼
2017-12-17 19:51   回复  
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2017-12-17 19:51   回复  
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2017-12-17 19:51   回复  
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