刻蚀锶钛氧SrTiO3样品 - 微米和纳米 - 微纳加工 - 小木虫论坛-学术科研互动平台

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新虫 (初入文坛)

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想刻蚀锶钛氧SrTiO3样品,制备微纳器件，为什么氢氟酸刻出来的都是坑坑洼洼的，如果干刻用什么气体比较好呢？

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1楼 2017-12-17 19:51:02

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禁虫 (知名作家)

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5楼2018-01-18 10:06:16

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pandongzi2楼

2017-12-17 19:51 回复

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zhaoyouqiang3楼

2017-12-17 19:51 回复

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youku_zhc14楼

2017-12-17 19:51 回复

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