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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 刻蚀锶钛氧SrTiO3样品
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cpbj

新虫 (初入文坛)
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刻蚀锶钛氧SrTiO3样品
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想刻蚀锶钛氧SrTiO3样品,制备微纳器件，为什么氢氟酸刻出来的都是坑坑洼洼的，如果干刻用什么气体比较好呢？

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1楼 2017-12-17 19:51:02
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
5楼2018-01-18 10:06:16
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pandongzi2楼
2017-12-17 19:51   回复  
cpbj(金币+5): 谢谢参与
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zhaoyouqiang3楼
2017-12-17 19:51   回复  
cpbj(金币+12): 谢谢参与
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youku_zhc14楼
2017-12-17 19:51   回复  
cpbj(金币+3): 谢谢参与
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