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miaoguoliang

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[交流] 【请教】磁控溅射镀膜问题

在氮气的气氛中，溅射硼化硅（SiB）时，硼化硅跟氮气能反应吗?

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2009-2-28 at 22:11 ]

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1楼 2009-02-28 10:56:22

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ivou

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2楼2009-02-28 21:19:25

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