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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 磁控溅射
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小妞的口袋

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 已有1人参与

看一篇文章里它写到 Al Cu Cr等元素相比较，Al的溅射产额最低，这是为什么呢？请大神指

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1楼 2017-12-16 20:34:00
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maisuitang

金虫 (小有名气)
想学习一篇文章，能告诉题目吗？

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2楼2017-12-17 18:55:32
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wyk2008xynu

铁虫 (小有名气)
你该把文章名称说一下

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3楼2017-12-17 23:19:04
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
小妞的口袋(20091783代发): 金币+3 2018-04-23 22:35:56
溅射产额的影响因素看，一个是入射离子的能量，一个是逸出原子的键合能。从这个角度讲，溅射本质上一个撞击一个逸出。
撞击上看，动量越大产额越高，但是工业普遍采用Ar，考虑的是成本和溅射产额的平衡；
逸出上看，金属Al原子小，金属键外层共用三个电子，结合力相对更高；相对Cr Cu溅射产额稍低。溅射产额在元素周期表上体现的很有规律。
大概可以这样理解
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2017-12-19 12:47:18
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