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小妞的口袋

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 已有1人参与

看一篇文章里它写到 Al Cu Cr等元素相比较,Al的溅射产额最低,这是为什么呢?请大神指

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maisuitang

金虫 (小有名气)

想学习一篇文章,能告诉题目吗?

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2楼2017-12-17 18:55:32
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wyk2008xynu

铁虫 (小有名气)

3楼2017-12-17 23:19:04
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
小妞的口袋(20091783代发): 金币+3 2018-04-23 22:35:56
溅射产额的影响因素看,一个是入射离子的能量,一个是逸出原子的键合能。从这个角度讲,溅射本质上一个撞击一个逸出。
撞击上看,动量越大产额越高,但是工业普遍采用Ar,考虑的是成本和溅射产额的平衡;
逸出上看,金属Al原子小,金属键外层共用三个电子,结合力相对更高;相对Cr Cu溅射产额稍低。溅射产额在元素周期表上体现的很有规律。
大概可以这样理解
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
4楼2017-12-19 12:47:18
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