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zhengbiju1833

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】用霍尔效应测量仪可以测半导体薄膜的导电率、载流子浓度吗?

用霍尔效应测量仪可以测半导体薄膜的导电率、载流子浓度吗?
比如氧化锌薄膜,基底是石英玻璃片,薄膜厚约500nm吧,这么薄的薄膜可以用霍尔效应测量仪测载流子浓度、霍尔系数吗?怎么测?
谢谢!
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life

当然可以测量,一般是直接测出霍尔系数和迁移率,然后换算出电阻率的。500nm已经很厚了,我们一般都测100nm以下的。所以肯定没有问题。你去半导体所,那里测试很方便的
xxxxxxxxxxxxx
2楼2009-02-28 10:59:45
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zhengbiju1833

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by ufoer at 2009-2-28 10:59:
当然可以测量,一般是直接测出霍尔系数和迁移率,然后换算出电阻率的。500nm已经很厚了,我们一般都测100nm以下的。所以肯定没有问题。你去半导体所,那里测试很方便的

我在长春,不方便去。半导体所用的什么型号的霍尔效应测量仪?
3楼2009-02-28 13:22:20
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
zhengbiju1833(金币+8,VIP+0):谢谢你啊! 2-28 19:33
没有型号,他们的设备是自己组建起来的,原理很简单,你看看一般的材料物理书上都有,其核心是两块高精度的数字万用表
xxxxxxxxxxxxx
4楼2009-02-28 17:11:04
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jacksoncho

铜虫 (初入文坛)

可以啊

可以的啊
5楼2009-11-05 14:36:25
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ysy9167

金虫 (小有名气)

请问霍尔效应能测电阻在G欧左右薄膜的导电类型(P或N型)?
6楼2009-11-09 14:11:45
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