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beyondsprint

新虫 (初入文坛)

[求助] 谁那里有关于红外光谱分析的资料,请给我分享下,不胜感激!!!

各位好:
         我是做IC测试仪器的,我们有个FTIR用以测试wafer中的BP含量,想找找更多的资料看看。我们FAB也搞了台XRF,但是比较老,RIGAKU3630,两边的测试含量是要做match的,这个最近把人搞得很头疼,所以想多看看资料。要是哪位手上有资料,希望不吝赏赐。
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花枝笑雨

金虫 (正式写手)

您好,请问BPSG薄膜测试B,P含量,业内认可的是XRF是吗?

我们公司现在开发BPSG薄膜,想测试BP含量,还没找到合适的测试公司,

如果您了解,帮忙回答下呗,非常感谢!
2楼2018-02-27 14:43:24
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