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nannan3052

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[求助] 电火花切割多晶硅表面灼伤已有1人参与

请教电火花切割多晶硅表面会有黑色灼伤，有什么方法可以对多晶硅表面保护或者调节设备方法？
非常感谢！

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把眼泪诠释成坚强。。。

1楼2017-12-12 08:36:51

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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【答案】应助回帖

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nannan3052: 金币+20, ★★★很有帮助 2017-12-15 11:28:55

线切割的原理就是通过电弧放电，将局部瞬时绝对温标达到几千或上万 K，从而使材料产生局部熔化和相互分离，达到切割的目的。从这点来讲，在这么高的温度下材料表面肯定会存在灼伤，但灼伤的影响层深度非常薄，通常只有几百个纳米到一两个微米。因此应该可以通过降低放电脉冲强度和加强冷却效果来降低表面灼伤的深度，而在后续的工序中增加抛光工序就可以将灼伤层抛掉。