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分子束外延生长与原子层沉积主要区别是什么?
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youyoma
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[交流]
分子束外延生长与原子层沉积主要区别是什么?
向作薄膜的大拿请教一下,分子束外延生长与原子层沉积的主要区别是什么?如在硅(100)基底上制备SiC薄膜用那种方法制备的样品致密性和电学性质好些好些。
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2017-12-05 15:10:31
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zxmzb
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虫号: 21115452
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主知道用哪种方法了么?
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7楼
2020-10-15 13:15:40
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uunpyqs624
2楼
2017-12-05 15:33
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dhzhwz23
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2017-12-05 15:40
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tqevzr24
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2017-12-05 15:53
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xiaoqiuqiu20
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cyuatzu364
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