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youyoma

铜虫 (初入文坛)

[交流] 分子束外延生长与原子层沉积主要区别是什么？

向作薄膜的大拿请教一下，分子束外延生长与原子层沉积的主要区别是什么？如在硅（100）基底上制备SiC薄膜用那种方法制备的样品致密性和电学性质好些好些。
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1楼 2017-12-05 15:10:31
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zxmzb

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主知道用哪种方法了么？

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7楼2020-10-15 13:15:40
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uunpyqs6242楼
2017-12-05 15:33   回复  
youyoma(金币+1): 谢谢参与
dhzhwz233楼
2017-12-05 15:40   回复  
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tqevzr244楼
2017-12-05 15:53   回复  
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xiaoqiuqiu205楼
2017-12-05 15:55   回复  
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cyuatzu3646楼
2017-12-05 15:55   回复  
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