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youyoma

铜虫 (初入文坛)


[交流] 分子束外延生长与原子层沉积主要区别是什么?

向作薄膜的大拿请教一下,分子束外延生长与原子层沉积的主要区别是什么?如在硅(100)基底上制备SiC薄膜用那种方法制备的样品致密性和电学性质好些好些。
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zxmzb

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主知道用哪种方法了么?

发自小木虫Android客户端
7楼2020-10-15 13:15:40
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2017-12-05 15:33   回复  
youyoma(金币+1): 谢谢参与
dhzhwz233楼
2017-12-05 15:40   回复  
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tqevzr244楼
2017-12-05 15:53   回复  
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2017-12-05 15:55   回复  
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