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分子束外延生长与原子层沉积主要区别是什么？
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| 向作薄膜的大拿请教一下，分子束外延生长与原子层沉积的主要区别是什么？如在硅（100）基底上制备SiC薄膜用那种方法制备的样品致密性和电学性质好些好些。 |
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7楼2020-10-15 13:15:40
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2017-12-05 15:33
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youyoma(金币+1): 谢谢参与
dhzhwz233楼
2017-12-05 15:40
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tqevzr244楼
2017-12-05 15:53
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2017-12-05 15:55
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