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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 靶材卡在阴极压环上了
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霜雪泪

新虫 (小有名气)

[求助] 靶材卡在阴极压环上了 已有1人参与

最近用磁控溅射溅射石墨，在安装靶材的时候靶材与压环的配合不是很好，靶材尺寸比压环偏大一丢丢。勉强压住后只敢把螺丝上得刚刚紧。磁控溅射完后，石墨靶卡在阴极压环里，且十分牢固。有类似经历的小伙伴 请问怎么无损取下靶材？有如何在以后的溅射过程避免此类事故发生？

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1楼 2017-12-04 14:52:38
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
最好上图呀，因为每一家的靶材安装方式都不一样。
石墨靶材很容易打磨的，上之前拿砂纸打磨一下。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2017-12-04 15:51:08
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霜雪泪

新虫 (小有名气)
靶材卡在阴极压环上了

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3楼2017-12-04 15:57:40
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霜雪泪

新虫 (小有名气)
靶材卡在阴极压环上了-1

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4楼2017-12-04 15:58:10
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chenfb2010

新虫 (初入文坛)
你这个绑定了

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铍片焊接，铍片法兰窗口，同步辐射X射线配件，真空观察窗，薄膜沉积靶材，贵金属材料..
5楼2017-12-04 19:28:32
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

额，没有铜背板的。最后取下来了么，试试拿木锤或橡胶锤，沿着靶材边缘敲打看看。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
6楼2017-12-19 10:36:59
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