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靶材卡在阴极压环上了 已有1人参与
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最近用磁控溅射溅射石墨，在安装靶材的时候靶材与压环的配合不是很好，靶材尺寸比压环偏大一丢丢。勉强压住后只敢把螺丝上得刚刚紧。磁控溅射完后，石墨靶卡在阴极压环里，且十分牢固。有类似经历的小伙伴 请问怎么无损取下靶材？有如何在以后的溅射过程避免此类事故发生？ 发自小木虫Android客户端 |
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 薄膜制备与特性 | 磁控溅射镀膜工艺 | PVD工艺探究 |
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