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溅射复合靶材
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Gavin6152
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溅射复合靶材
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现在想在钨靶表面贴铜片的方式来制作W-Cu复合靶材,但不知道怎样将Cu片贴在W靶表面,有没有做过的前辈指点一二,谢谢!
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2楼
:
Originally posted by
光明使者_orz
at 2017-12-01 19:33:13
听说一师兄做过这种复合溅射,感觉小的靶材是直接放上去的,问过之后再来回复楼主。
好的,先谢谢啦
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2017-12-01 19:46:15
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Originally posted by
光明使者_orz
at 2017-12-01 20:06:53
大的块儿状靶材是正常装卡上去的,然后小靶片直接放在大的上面
你们的可能是靶材在下方,样品台在上方,但我们的设备是靶材在上方,小靶片必须要固定住
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2018-01-08 23:07:24
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