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东大利用喷墨技术试制出通道长1μm的有机晶体管
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东大利用喷墨技术试制出通道长1μm的有机晶体管 东京大学工学系研究科量子相电子研究中心副教授染谷隆夫采用可控制液滴在1fl（飞升）以下的超微量喷墨技术，开发出了有机晶体管的制造工艺。 染谷采用该技术，试制出了新型有机晶体管，其中构成源-漏极的Ag（银）电极线宽为2μm，通道长为1μm。利用喷墨技术喷出的液滴为0.5～0.7fl，喷到底板上的液滴直径为1～2μm。东京大学表示，采用将液滴控制在数pl（皮升）的原喷墨技术时，喷到底板上的液滴直径为20～50μm。 另外，通过微细化处理，柔性有机晶体管的栅极绝缘膜厚度削减到了3nm，与采用原喷墨技术制成的有机晶体管相比，驱动电压可削减至1/10以下，仅为3V。 东京大学希望将基于此次技术制造的有机晶体管的片状元器件，应用于医疗和产业用电子人工皮肤、以及安全防范和护理用压力感测垫等领域。（记者：吉泽 惠）  采用控制液滴在1fl以下的喷墨技术而开发的有机晶体管的结构及显微镜（AFM）成像 ■日文原文 東大，インクジェット技術でチャネル長1μmの有機トランジスタを試作 |
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