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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » PDMS与玻璃使用等离子机键合
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meim12

新虫 (初入文坛)

[求助] PDMS与玻璃使用等离子机键合 已有1人参与

求助：PDMS与玻璃键合时，找到一组参数相较于其他参数效果较好，但之后再通过微调等离子机的压力，时间，功率的增减，效果都没有改善，求问这种现象会不会是其他过程的问题？求问大家实验时的经验参数
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1楼 2017-11-27 20:15:08
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ptldqkj

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

不同厂家的设备设置参数是不一样的，我们用的是PTL-VM500型号的，键合一致性很好，另外舱室内的真空度及气体成分也有很大影响
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2楼2018-08-20 15:28:27
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