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笼中鸟Q木虫 (正式写手)
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薄膜热导率的相关知识
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通过磁控溅射沉积的金属薄膜，想要通过测试知道其热导率。由于热导率的相关知识不是特别了解，所以向大家请教一些问题： 1. 目前国内哪里可以测薄膜的热导率，我自己的薄膜是沉积在Si片上，厚度700 nm左右。查了很多，没有找到合适的可以测薄膜热导率的仪器。 2.我看到的文献测热扩散系数的大概有三种方法（不知道是否准确）： 1）激光闪光法，2）3-omega 法，3）反射法，这三种方法是否都可以测到薄膜的纵向热扩散系数 3. 由于薄膜的比热不知道，测比热也是一大难题，不知道通过什么方法测试更好。 4. 金属中的热传导主要是通过自由电子来传导，那如果金属薄膜中含有贯穿整个厚度的孔（多孔的），对其热导率有什么影响？一般多孔的金属热导率是否小于密实的热导率，原因是什么？ |
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2楼2017-11-24 10:22:44
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