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金虫 (正式写手)

[交流] 十金 急求brooks 5850e气体质量流量计说明书 (截止时间2009-02-28)

十金 急求brooks 5850e气体质量流量计说明书 (截止时间2009-02-28)
我的流量计不受仪表的控制了,不管开多大都是最大量在出气,请高手指点该如何处理!
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sdgyang

金虫 (小有名气)

★ ★
dnp(金币+2,VIP+0):谢谢交流~~ 2-24 17:38
有可能进液体了的,可以用氮气吹吹试试;要不就是质量流量计前的压力太高所致,看流量计的最大工作压力,调调减压阀吧;

最坏的可能就是质量流量计的电磁阀坏了,这个要是坏了的话修很贵的,而且周期很长,呵呵
2楼2009-02-24 16:21:53
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