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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工程师家园 » 磁控溅射漏气 怎样知道哪里漏气
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江林93

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射漏气 怎样知道哪里漏气已有3人参与

磁控溅射些微漏气 1秒钟大概0.2帕 怎样知道是哪里在漏气

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1楼2017-11-16 17:21:19
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aheyingwhg

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这叫微漏气，大漏是啥样的？
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3楼2017-11-17 06:45:57
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
正规可以用检漏仪呀，非正规可以用酒精或这IPA测试真空度变化，进行密封面的检查；最简陋的我见过用酒精里掺杂红墨水。。。

其实设备的关键几个部位是明确的，重点检查仔细一点就能发现
赞一下(2人) 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2017-11-16 17:56:06
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shrimp1988

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
简单的就是可疑部位喷酒精，一般没谁上检漏仪
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2017-11-17 08:42:06
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