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benbenyou

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控检测氧化铝出现黑点 已有2人参与

用射频磁控溅射在Ag上溅射了50多nm厚的氧化铝，为什么会出现这样的小黑点？求指教

磁控检测氧化铝出现黑点
9.jpg


磁控检测氧化铝出现黑点-1
10.jpg
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1楼 2017-11-15 10:32:02
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
benbenyou: 金币+2 2017-11-15 17:06:08
建议对这些黑点进行一下EDS和电子衍射分析看看。
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2楼2017-11-15 15:12:02
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
benbenyou: 金币+2 2017-11-17 09:27:21
我想问的是你的溅射工艺里有没有掺杂一点点氧气，你可以试试
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2017-11-16 17:57:11
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benbenyou

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2017-11-16 17:57:11
我想问的是你的溅射工艺里有没有掺杂一点点氧气，你可以试试

我的基底是Ag， 如果通氧的话，Ag基底会被氧化，所以只通入了氩气
赞一下 回复此楼
4楼2017-11-17 09:27:13
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by benbenyou at 2017-11-17 09:27:13
我的基底是Ag， 如果通氧的话，Ag基底会被氧化，所以只通入了氩气...

嗯，你是射频陶瓷靶氧化铝吧？射频溅射氧化物一般得出的膜中会稍稍有些氧元素缺失：
1. 你如果在玻璃上沉积会比较明显，膜层的透明度不够，也就是亚氧状态的氧化物，我们以前做ITO SnO2 ZnO都有这种情况，比如一般充10%氧气；
2. 还有一种你可以观察靶材的跑道，如果还和本体一样的颜色，那基本没问题，如果跑道颜色已经比本体暗很多，说明靶材缺氧了。

当然具体在照片上，膜上的小黑点是不是缺氧的AlOx，还得进一步确认。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
5楼2017-12-08 14:31:23
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