应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 磁控检测氧化铝出现黑点
51/1返回列表
查看: 1623  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

benbenyou

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控检测氧化铝出现黑点 已有2人参与

用射频磁控溅射在Ag上溅射了50多nm厚的氧化铝，为什么会出现这样的小黑点？求指教

磁控检测氧化铝出现黑点
9.jpg


磁控检测氧化铝出现黑点-1
10.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-11-15 10:32:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
benbenyou: 金币+2 2017-11-15 17:06:08
建议对这些黑点进行一下EDS和电子衍射分析看看。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2017-11-15 15:12:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
benbenyou: 金币+2 2017-11-17 09:27:21
我想问的是你的溅射工艺里有没有掺杂一点点氧气，你可以试试
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2017-11-16 17:57:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

benbenyou

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2017-11-16 17:57:11
我想问的是你的溅射工艺里有没有掺杂一点点氧气，你可以试试

我的基底是Ag， 如果通氧的话，Ag基底会被氧化，所以只通入了氩气
赞一下 回复此楼
4楼2017-11-17 09:27:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by benbenyou at 2017-11-17 09:27:13
我的基底是Ag， 如果通氧的话，Ag基底会被氧化，所以只通入了氩气...

嗯，你是射频陶瓷靶氧化铝吧？射频溅射氧化物一般得出的膜中会稍稍有些氧元素缺失：
1. 你如果在玻璃上沉积会比较明显，膜层的透明度不够，也就是亚氧状态的氧化物，我们以前做ITO SnO2 ZnO都有这种情况，比如一般充10%氧气；
2. 还有一种你可以观察靶材的跑道，如果还和本体一样的颜色，那基本没问题，如果跑道颜色已经比本体暗很多，说明靶材缺氧了。

当然具体在照片上，膜上的小黑点是不是缺氧的AlOx，还得进一步确认。
赞一下(2人) 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
5楼2017-12-08 14:31:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 benbenyou 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿南航材料专317分求调剂 +3 炸呀炸呀炸薯条 2026-03-23 3/150 2026-03-23 20:47 by pswait
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境，总分308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-23 8/400 2026-03-23 20:36 by Creta
[考研] 化学308分求调剂 +3 你好明天你好 2026-03-23 3/150 2026-03-23 20:11 by macy2011
[考研] 085600材料与化工调剂 +6 A-哆啦Z梦 2026-03-23 11/550 2026-03-23 19:57 by pswait
[考研] 303求调剂 +4 元夕元 2026-03-20 4/200 2026-03-23 19:00 by macy2011
[考研] 考研化学308分求调剂 +7 你好明天你好 2026-03-23 8/400 2026-03-23 18:39 by macy2011
[考研] 接收2026硕士调剂(学硕+专硕) +4 allen-yin 2026-03-23 6/300 2026-03-23 15:04 by 汪！？！
[考研] 08工科 320总分 求调剂 +11 梨花珞晚风 2026-03-17 11/550 2026-03-22 17:42 by luoyongfeng
[考研] 287求调剂 +8 晨昏线与星海 2026-03-19 9/450 2026-03-22 17:01 by i_cooler
[考研] 寻找调剂 +4 倔强芒? 2026-03-21 4/200 2026-03-22 16:14 by 木托莫露露
[考研] 求调剂院校信息 +6 CX 330 2026-03-21 6/300 2026-03-22 15:25 by 无懈可击111
[考研] 260求调剂 +3 朱芷琳 2026-03-20 4/200 2026-03-22 15:12 by 朱芷琳
[考研] 313求调剂 +4 肆叁贰壹22 2026-03-19 4/200 2026-03-21 17:33 by ColorlessPI
[考研] 307求调剂 +3 余意卿 2026-03-18 3/150 2026-03-21 17:31 by ColorlessPI
[考研] 22 350 本科985求调剂，求老登收留 +3 李轶男003 2026-03-20 3/150 2026-03-21 13:28 by 搏击518
[考研] 346求调剂[0856] +4 WayneLim327 2026-03-16 7/350 2026-03-21 04:02 by JourneyLucky
[考研] 083200学硕321分一志愿暨南大学求调剂 +3 innocenceF 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:35 by JourneyLucky
[考研] 一志愿 西北大学 ，070300化学学硕，总分287，双非一本，求调剂。 +4 晨昏线与星海 2026-03-19 4/200 2026-03-20 22:15 by JourneyLucky
[考研] 材料学求调剂 +4 Stella_Yao 2026-03-20 4/200 2026-03-20 20:28 by ms629
[考研] 086500 325 求调剂 +3 领带小熊 2026-03-19 3/150 2026-03-20 18:38 by 尽舜尧1
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭