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Jym111

新虫 (初入文坛)

[求助] PECVD问询

请问你们有谁知道用PECVD镀膜过程中出现等离子体熄火可能有什么原因吗？急求！忘知道的朋友回答一下

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1楼 2017-11-15 00:23:32
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ForJN

铁虫 (初入文坛)
是射频异常终止么

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3楼2018-08-10 09:04:49
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kjwu

捐助贵宾 (正式写手)
工艺条件的变动，会导致阻抗的变化，变化大了就会熄火

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2楼2017-11-15 21:37:48
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Atom He

新虫 (初入文坛)
我今天也遇到了这种情况 楼主现在对这个现象有了解了吗？还请不吝赐教

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4楼2018-11-05 00:44:09
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