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pppbbbccc706金虫 (正式写手)
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【求助】高纯氮使用时还需纯化处理吗？
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| 如题，该怎样纯化？ |
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linjinbin
铁杆木虫 (正式写手)
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- 性别: GG
- 专业: 胶体与界面化学
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性质：纯度大于99.999％。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃，空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸点-195.8℃。熔点-209.9℃。氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99％以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。 我觉得使用过程中不需要进一步纯化 |
2楼2009-02-23 23:12:37
xiaoLifeiD
至尊木虫 (知名作家)
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- 专业: 高分子科学
3楼2009-02-24 08:21:15