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王纯絮

铜虫 (初入文坛)

[交流] 求助:关于硅片晶面的问题

日前得一硅片,想知道它的晶面,请教高人指点能否通过什么测试知道上下两面分别为什么晶面吗?

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yurui0211

金虫 (正式写手)

一种测定晶体取向及其分布的简便XRD方法
A Simple XRD Method for Determining Crystal Orientation and Its Distribution




提出了旋转定向测试法,其原理是使试样在粉末X射线衍射仪上进行θ扫描的同时绕其端面法线自转,增加了晶面法线通过衍射平面的机会.通过这种方法可直观地区分取向多晶、准单晶或者单晶体,评定研制过程中准单晶和择优取向材料的晶体品质;确定单晶、准单晶及择优取向等材料的晶面相对宏观端面的晶向偏离角和取向分散度;还可对单晶体材料进行三维晶面定向.旋转定向法测试晶体取向具有快速简便、一机多用、精度高等优点,在电子、光学、磁性、机械等材料研究领域具有广泛的应用.

作 者: 郭振琪  付涛  王宁  傅恒志 作者单位: 郭振琪 (西北大学分析测试研究中心,西安,710069)
付涛 (西安交通大学金属材料强度国家)
王宁 (西北工业大学凝固技术国家重点实验室,西安,710072)
刊 名: 无机材料学报   英文刊名: JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS  年,卷(期): 2002 17(3)   分类号: O722  关键字: 晶体材料    晶体取向    X射线衍射 机标分类号: TN3  TN1
临渊羡鱼,不如退而结网!
3楼2009-02-23 22:10:16
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yurui0211

金虫 (正式写手)

楼主 要找 这个??


一种测定晶体取向及其分布的简便XRD方法
A Simple XRD Method for Determining Crystal Orientation and Its Distribution



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提出了旋转定向测试法,其原理是使试样在粉末X射线衍射仪上进行θ扫描的同时绕其端面法线自转,增加了晶面法线通过衍射平面的机会.通过这种方法可直观地区分取向多晶、准单晶或者单晶体,评定研制过程中准单晶和择优取向材料的晶体品质;确定单晶、准单晶及择优取向等材料的晶面相对宏观端面的晶向偏离角和取向分散度;还可对单晶体材料进行三维晶面定向.旋转定向法测试晶体取向具有快速简便、一机多用、精度高等优点,在电子、光学、磁性、机械等材料研究领域具有广泛的应用.
临渊羡鱼,不如退而结网!
2楼2009-02-23 22:06:11
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stephenking

如果是做半导体用的晶圆,寸度是99.999999%的单晶硅
4楼2009-02-24 09:21:39
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王纯絮

铜虫 (初入文坛)

谢谢各位的解答

[ Last edited by 王纯絮 on 2009-2-24 at 09:37 ]
5楼2009-02-24 09:35:21
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