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长时间磁控溅射 已有3人参与
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需要采用磁控溅射制备厚膜 用的是射频磁控溅射 溅射时间长 长达10多个小时。请问有类似经验的小伙伴 长时间射频溅射应该注意什么？（关于设备运行方面） 发自小木虫Android客户端 |
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