应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 长时间磁控溅射
51/1返回列表
查看: 784  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

霜雪泪

新虫 (小有名气)

[求助] 长时间磁控溅射 已有3人参与

需要采用磁控溅射制备厚膜 用的是射频磁控溅射 溅射时间长 长达10多个小时。请问有类似经验的小伙伴 长时间射频溅射应该注意什么？（关于设备运行方面）

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-11-06 16:35:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
冷却水有应急备用的。电源要选好的，打火时，自动灭弧之后会很快恢复正常放电

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2017-11-06 18:55:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
霜雪泪: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-12-15 19:27:34
溅射前先检查水路是否正常，靶材屏蔽罩会不会短路，电源的灭弧功能如何，衬底能否耐高温，其他没什么
赞一下(1人) 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2017-11-16 17:59:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

LAnza_lw

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
霜雪泪: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-12-15 19:27:58
靶头漏水，磁场老化，电源稳定，偏压稳定
赞一下 回复此楼
PVD，磁控溅射，金属镀膜，研发工程师
4楼2017-11-27 10:46:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

alexwang123

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
霜雪泪: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2017-12-15 19:28:05
靶材冷却、腔体冷却、电源冷却，其次是随着镀膜时间增加，靶材表面及腔体、基底温度都会发生变化，表现为溅射电压和电流的变化，会造成薄膜成份与结构的改变。
赞一下 回复此楼
5楼2017-12-08 11:18:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 霜雪泪 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 3/150 2026-09-15 10:02 by VMDqgnlKimtZ
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:58 by C79jjtjAKjEn
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:14 by C79jjtjAKjEn
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 08:02 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 07:50 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-15 07:46 by C79jjtjAKjEn
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 6/300 2026-09-15 07:38 by C79jjtjAKjEn
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-15 07:34 by C79jjtjAKjEn
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-15 06:49 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:38 by 5BDX0d0WFp7t
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-15 05:34 by 5BDX0d0WFp7t
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 3/150 2026-09-15 05:26 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:13 by 5BDX0d0WFp7t
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 8/400 2026-09-15 05:01 by mibUvS8DDCwf
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 4/200 2026-09-15 05:00 by mibUvS8DDCwf
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 6/300 2026-09-14 22:37 by vZfe6xYu34yj
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:25 by vZfe6xYu34yj
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:36 by vZfe6xYu34yj
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-14 16:13 by Aj1rhIDL5ixY
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 3/150 2026-09-14 15:09 by Aj1rhIDL5ixY
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭