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长时间磁控溅射已有3人参与
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需要采用磁控溅射制备厚膜 用的是射频磁控溅射 溅射时间长 长达10多个小时。请问有类似经验的小伙伴 长时间射频溅射应该注意什么？（关于设备运行方面） 发自小木虫Android客户端 |
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lywzd16
铁杆木虫 (著名写手)
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霜雪泪: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-12-15 19:27:34
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LAnza_lw
银虫 (小有名气)
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霜雪泪: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-12-15 19:27:58
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霜雪泪: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2017-12-15 19:28:05
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