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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射纳米钨层的硫化问题
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benpaopinle

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射纳米钨层的硫化问题

如题，本人通过磁控溅射，在石英片上镀了厚约0.5纳米左右金属钨层，当时600℃和700℃条件下用两个管式炉同时硫化，700℃的偶然成功了，600℃的表面居然没有东西了，就想在700℃下硫化，但是一直没有重复出来，各种条件都试了，没成功...已经半个月了，没重复出来，急求硫化方法，或指点重复不出来的原因！急急急！！！成功解决问题的，追加金币，倾其所有也没问题！
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1楼 2017-11-05 21:24:19
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白天不懂黑夜

捐助贵宾 (著名写手)
炉内固态硫高温气化

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2楼2017-11-05 21:46:08
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benpaopinle

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 白天不懂黑夜 at 2017-11-05 21:46:08
炉内固态硫高温气化

是的，一直用的就是这种方法，但是没成功，石英表面上的物质不知道发生了什么，没有了。本来硫化好后应该是浅黄色的，有时候表面都是一片一片的晕，放大了看是很多小颗粒。0.5nm-1nm厚的膜都试过了，没有成功...很郁闷
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3楼2017-11-06 18:12:43
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