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磁控溅射纳米钨层的硫化问题
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| 如题,本人通过磁控溅射,在石英片上镀了厚约0.5纳米左右金属钨层,当时600℃和700℃条件下用两个管式炉同时硫化,700℃的偶然成功了,600℃的表面居然没有东西了,就想在700℃下硫化,但是一直没有重复出来,各种条件都试了,没成功...已经半个月了,没重复出来,急求硫化方法,或指点重复不出来的原因!急急急!!!成功解决问题的,追加金币,倾其所有也没问题! |
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