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benpaopinle

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射纳米钨层的硫化问题

如题,本人通过磁控溅射,在石英片上镀了厚约0.5纳米左右金属钨层,当时600℃和700℃条件下用两个管式炉同时硫化,700℃的偶然成功了,600℃的表面居然没有东西了,就想在700℃下硫化,但是一直没有重复出来,各种条件都试了,没成功...已经半个月了,没重复出来,急求硫化方法,或指点重复不出来的原因!急急急!!!成功解决问题的,追加金币,倾其所有也没问题!
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白天不懂黑夜

捐助贵宾 (著名写手)

2楼2017-11-05 21:46:08
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benpaopinle

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 白天不懂黑夜 at 2017-11-05 21:46:08
炉内固态硫高温气化

是的,一直用的就是这种方法,但是没成功,石英表面上的物质不知道发生了什么,没有了。本来硫化好后应该是浅黄色的,有时候表面都是一片一片的晕,放大了看是很多小颗粒。0.5nm-1nm厚的膜都试过了,没有成功...很郁闷
3楼2017-11-06 18:12:43
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