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求助：关于EDX能谱的问题，不导电样品测量的结果是否准确？
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投了一篇文章，审稿人要求加上EDX能谱的结果 ，于是就拿样品去打了个能谱。 我的样品是不导电的，测试人员为了节约时间，没有喷碳就直接测了，测试的结果拿回来算了下，发现有些不对劲，因为XRD显示结构是和 预计结构相同的，理论上来说，应该测出来的元素含量和名义组分差别不大。但实际上测出来差别很大，尤其是氧含量，理论值和测量值误差特别大，所以我就上网查了一下，发现可能EDX测量是不是也需要喷碳来减少表面电荷的积累。 所以在这里请问各位大神，不导电样品直接测量EDX是不是误差特别大，另外，是不是在此过程中轻元素比如O之类的就误差更大了，有没有哪位有类似的经验，麻烦分享一下！ |
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