| 查看: 667 | 回复: 4 | ||
czcdxmc木虫 (正式写手)
MEMS小学生
|
[求助]
DRIE工艺后Si表面有Grass已有1人参与
|
DRIE工艺刻蚀PR做mask的硅片后刻蚀表面有Grass，即在显微镜DarkField下观察有密集的亮点。不知道是工艺参数问题，还是工艺腔室洁净度问题，或者是wafer表面的问题。各位大神来指点一下。 |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有269人回复
坏小孩和贵族
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1132.3
- 红花: 1
- 帖子: 107
- 在线: 28.2小时
- 虫号: 3717608
- 注册: 2015-03-07
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子学
czcdxmc2楼2017-11-29 17:53:31
czcdxmc
木虫 (正式写手)
MEMS小学生
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 5212.9
- 散金: 70
- 红花: 8
- 帖子: 845
- 在线: 101.7小时
- 虫号: 2088420
- 注册: 2012-10-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2017-11-30 20:59:58
坏小孩和贵族
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1132.3
- 红花: 1
- 帖子: 107
- 在线: 28.2小时
- 虫号: 3717608
- 注册: 2015-03-07
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子学
4楼2018-01-03 00:13:07
wuli05_li
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3418.8
- 散金: 1166
- 红花: 13
- 帖子: 292
- 在线: 533.5小时
- 虫号: 865535
- 注册: 2009-10-08
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2018-01-29 21:21:31