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czcdxmc木虫 (正式写手)
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DRIE工艺后Si表面有Grass 已有1人参与
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DRIE工艺刻蚀PR做mask的硅片后刻蚀表面有Grass，即在显微镜DarkField下观察有密集的亮点。不知道是工艺参数问题，还是工艺腔室洁净度问题，或者是wafer表面的问题。各位大神来指点一下。 |
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czcdxmc2楼2017-11-29 17:53:31
czcdxmc
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3楼2017-11-30 20:59:58
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4楼2018-01-03 00:13:07
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5楼2018-01-29 21:21:31
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