| 查看: 4879 | 回复: 2 | |||
[交流]
准分子激光器能量不稳怎么办
|
|
准分子激光器是一种横向激励高气压、高电压快速放电泵浦的激光器，要得到很陡的窄脉冲，放电回路中要选用快速开关，常用的是氢闸流管。主放电通过阴极电极和阳极电极间实现均匀放电，常用的电极有儒可夫斯基电极和江氏电极面型等。 为了获得均匀放电和降低着火电压，采用了双放电技术。在阳极和阴极之间靠近阴极附近加入了第三根电极（预电离电极），在主放电之前，预电离电极和主放电的阴极间先加上高压，使它们之间发生电晕放电或针式阵列预电离放电，在阴极附近形成均匀的电离层，然后再在阴极和阳极间加上高电压并发生辉光放电。 为得到特定波长的激光输出，需要充入不同的惰性气体外，还有充入一定比例的卤素气体。如KrF、ArF激光器要充入氟化物气体，XeCl激光器要充入氯化氢气体，它们都有腐蚀和毒害作用（在工作气体中含量较低约0.2%）。为提高频率并获得较大的粒子反转数和较大的增益，工作气体需要高速流动，因此在激光腔内安装了横流循环风机。使激光器在高重复频率下也能获得稳定的能量输出。 影响激光器能量输出的因素很多： 1、主放电电极和预电离电极在高重频下（数百赫兹），需要连续放电，各电极在放电过程中会有少量的金属分子离析，进而造成激光腔内及激光腔镜尘埃的污染，影响激光的输出能量。要得到额定的能量输出，就要提高注入能量（输入电压），电压的提高必然加速电极的损伤，最终导致电极间产生丝状放电，能量急剧下降。 2、由于工作气体不纯、配比失调、循环风机不能正常工作、激光腔有泄漏（少量），造成气压和电压不匹配，使气体寿命下降。造成能量输出不稳定。 3、放电回路接触不良、电容老化使电容容量下降、氢闸流管老化或损坏，都能产生能量下降或激光器不能正常工作。 准分子激光器结构复杂，精度要求高，因此对设计制造和维修都有严格的操作程序和要求，维修人员需具有多年的装配和维修经验才能胜任。 目前，市场上的准分子激光器主要是国外进口产品，维修工程师程序化操作、模块化检测，主要的维修手段是更换模块甚至返回原厂（激光腔体问题），致使维修费用昂贵。 51准分子 51zhunfenzi.com  11.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
河北省自然科学基金
已经有8人回复
-
西安交大新媒学院副院长用撤稿论文结题
已经有5人回复
-
论文撤稿了
已经有5人回复
-
某211大学教师把个人教师官方主页改成:我跑了我跑了我跑了!官宣跑路！
已经有5人回复
-
26/27申博自荐
已经有9人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有7人回复
-
揭秘青基评审内幕：几个A才能顺利中标
已经有4人回复
-
青B发送上会通知了吗
已经有7人回复
-
博士申请
已经有3人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
【帮转急招】深大计算机/电子信息博士 王牌专业，大牛团队！
+5/930
-
坐标北京，诚征女友
+2/436
-
中科院先进技术研究院集成电路先进封装博士后招聘
+1/287
-
12年，离婚了。
+1/283
-
福州大学化工学院电子化学品团队博士招生，还有一个名额！
+1/85
-
诚邀津门师者共研
+1/81
-
南京农业大学工学院博士招生 1个名额
+1/75
-
安徽大学俞洋洋课题组招收化学方向博士生1人
+1/33
-
南京农业大学工学院博士招生 1个名额
+1/30
-
【博士招生】武汉科技大学招收材料、化工、环境、冶金类2026年“申请-考核”制博士生
+1/17
-
【急招】 北京工业大学 能动第二批博士申请-杰青课题组1-2名额，25日截止！！
+1/16
-
西安交通大学陕西省科技创新团队招聘2027年免试保送生和考研生，2-4个名额
+1/11
-
QQQ跌破700後資金依然回流，這個位置其實沒那麼弱。
+1/10
-
英国伯明翰大学工程学院招收国际全奖博士生（closing soon请尽快联系）
+1/5
-
求助专利一篇，谢谢
+1/5
-
肿瘤免疫课题组招聘-科研助理（1年左右推为博士生）
+1/3
-
首都医科大学药学院2026年申请考核制博士研究生招生/有机化学/药物化学 三年学制
+1/2
-
26/27申博自荐
+1/2
-
【内蒙古科技大学冶金工程专业博士招生】
+1/2
-
电力全国重点实验室双一流A类长江学者团队26年全日制学术博士1名（补招）
+1/1
2楼2017-10-31 16:39:54
★
51zhunfenzi(金币+1): 谢谢参与
51zhunfenzi(金币+1): 谢谢参与
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2017-11-02 12:29:09
