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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 碳素材料 » 四氟化碳如何回收
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BJ2007

金虫 (小有名气)

[求助] 四氟化碳如何回收 已有1人参与

最近想用四氟化碳做等离子体处理，可是四氟化碳是温室气体，没办法直接排到空气中，需要把尾气处理掉，请问有没有人了解四氟化碳尾气如何回收？
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1楼 2017-10-31 11:53:47
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WJJ441714

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

最近看到有一篇用微波等离子体去除四氟化碳的论文
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2楼2018-01-02 17:27:24
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