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石墨烯场效应管漏电
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想问下有人用PECVD直接在衬底生长石墨烯，然后做成石墨烯背栅场效应晶体管吗？本人最近在做这个，但是器件栅源一直在漏电，原来认为是氧化硅层的问题，买了好几家氧化硅片做出来的还是漏电，感觉是生长石墨烯的时候plasma导致氧化硅层的漏电 不知道咋办 ，求做过这方面的大神或了解这方面的大神指教啊!!!不盛感谢~~~ |
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11楼2018-12-20 20:35:54
modestywang
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2楼2017-10-30 20:07:53
3楼2017-10-30 20:17:37
modestywang
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4楼2017-10-30 20:22:20