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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 用磁控溅射物理气相沉积对溅射靶尺寸有没有要求？
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腾飞的前夕

木虫 (正式写手)

[求助] 用磁控溅射物理气相沉积对溅射靶尺寸有没有要求？ 已有1人参与

各位虫虫，本人最近需要用到物理气相沉积设备，打算采用磁控溅射物理气相沉积，第一次接触该设备，向各位请教有没有对溅射靶尺寸要求，如果有那么溅射靶尺寸为多少？另外向各位求助哪里可以做磁控溅射物理气相沉积，谢谢！
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志存高远，放眼未来，有勇有谋！
1楼 2017-10-28 10:21:36
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醉千城

铁虫 (初入文坛)
有的，你需要溅射什么材料呢？

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JUSTCAN'TGETENOUGH.
4楼2017-10-28 14:34:13
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月隐青山

新虫 (正式写手)
有的，大小和厚度，你看看你设备靶槽的尺寸。

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2楼2017-10-28 11:51:49
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lywzd16

铁杆木虫 (著名写手)
有的

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3楼2017-10-28 13:39:37
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腾飞的前夕

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 月隐青山 at 2017-10-28 11:51:49
有的，大小和厚度，你看看你设备靶槽的尺寸。

谢谢，另外再向您请教，如果溅射金属，溅射靶尺寸一般多大，用什么设备加工溅射靶？
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志存高远，放眼未来，有勇有谋！
5楼2017-10-28 14:55:46
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