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请问大家做出的铂薄膜TCR【电阻温度系数】有没有是负向的情况？
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求助各位虫友，我外协溅射刻蚀PT薄膜做热电阻，结果加工完成后后期实验时发现所做热电阻的TCR是负向的。就是温度上升电阻会下降。。。 这个现象和目前已知的所有记录都相悖，老师那边需要我给出一个解释。求问大家是否也有过这种情况发生？或者材料TCR的正负性与什么有关？ 感谢各位虫友，希望提供线索 |
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jackeywell
金虫 (初入文坛)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2017-11-25 07:57:53
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3楼2017-11-25 08:59:19
