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jssis88

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 电子束曝光前怎样标记图案位置 已有1人参与

如题,跟其他组联系了电子束曝光设备,但是对方说将样品分散在基底后自己标记出图案位置,翻了书并没有讲相关操作的部分,想问问做过的同学都是怎么标记的?
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有止无休

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

在电子束曝光前先在你的基底上使用光刻的工艺加工一些marker,然后再将你的样品分散在基片上,利用高倍的光学显微镜或者扫描电镜先根据marker进行定位,然后再涂光刻胶利用电子束曝光
多看文献,不做工人
2楼2018-01-11 11:11:19
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